X荧光光谱仪是一种较新型可以对多元素进行快速同时测定的仪器。在X射线激发下，被测元素原子的内层电子发生能级跃迁而发出次级X射线。

不管是技术方面还是成本方面，检测薄膜的厚度都有很大挑战；但薄膜厚度对实际生产又是很重要的指标，怎么检测才既准确又省钱呢？

微区X射线荧光光谱仪在古陶瓷科技研究和鉴定中有哪些优点

金属分析仪坚固耐用，可以快速准确分析金属合金中的各种元素，尤其对锂、铍、硼、铝、镁、硅等轻元素特别灵敏，特别适合对铝合金、镁合金、钛合金等轻合金以及铁基合金（包括不锈钢）、铜合金、镍合金等金属合金进行快速牌号识别及成分分析。

直读光谱仪是用电弧（火花）的高温使样品中各种元素从固态直接气化并被激发而射出各元素的特征波长，经光栅分光后，成为按波长排列的“光谱”

有一种非常成熟的能谱技术，这种能谱叫微区X射线荧光光谱仪，它不仅可以完成一般能谱仪的平均成份的分析，又具有可变的细的X-光光束，可对微区进行有选择的分析。