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测氟难?TRACER 5G手持XRF破局!

发布时间:2025-06-13浏览:14

测氟难?TRACER 5G手持XRF破局!

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突破轻元素检测极限

       氟(F)——现代工业的“关键先生”,也是潜伏的“麻烦制造者”!

       在尖端半导体制造中,氟基气体(如CF4, NF3)是蚀刻、沉积、清洗工艺不可或缺的“利器”,其精准控制直接关乎芯片性能和良率。然而,氟的“调皮”属性也带来挑战:残留的氟化合物可能腐蚀精密部件,污染制程,甚至导致昂贵的设备宕机!

       在环境保护领域,含氟的持久性有机污染物(PFAS),如全氟烷基磺酸盐(PFASs)和聚四氟乙烯(PTFE)相关物质,因其在环境(土壤、水体)和人体中极难降解(被称为“永久化学品”)并具有潜在健康风险,已成为全球监管和治理的焦点。消防泡沫、防护涂层、不粘炊具、润滑剂(如自行车链蜡、滑雪蜡)都可能成为PFAS的来源。

行业痛点与挑战

       无论是确保万亿级芯片产线的纯净,还是锁定无处不在的“永久化学品”,快速、精准地检测氟元素,都是破局的关键!传统方法?力不从心!

       实验室送检:周期长(耽误生产排期/污染扩散)、成本高(大规模筛查难以承受)、样品破坏性(珍贵晶圆/复杂基体)。

       常规手持XRF: 对氟(F)等超轻元素束手无策,无法现场给出答案!

       检测难题亟待破解:如何做到 轻、快、准

TRACER 5G

       布鲁克(Bruker)推出的科研级手持式XRF分析仪——TRACER 5G,正是为解决此类严苛挑战而生。它不仅仅是一款手持设备,更代表了轻元素检测领域的一项重大突破。

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核心技术:

TRACER 5G的核心革新在于其革命性的探测器窗口:它采用了1μm厚度的石墨烯窗口,取代了传统的8μm铍窗。

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Q:为何是石墨烯? 

A:这种由单层碳原子构成的二维材料,结构异常坚固,却具有超薄的特性。

Q:带来了什么改变?

A: 石墨烯窗口实现了更高的X射线透射率,显著提升了对轻元素尤其是氟(F)的检测灵敏度!

此外,

钠 (Na)¹ 灵敏度提升 3倍

镁 (Mg)¹ 灵敏度提升 2倍

氦气环境 (He²) 下,Na检测限可达 300 ppm

氦气环境 (He²) 下,Mg检测限可达 100 ppm

氟 (F) 检测能力获得质的飞跃

关键突破: 实现现场、快速、无损检测氟(F)元素!

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解决氟检测痛点

TRACER 5G如何化身“氟”务专家?看两大硬核应用场景:

·   案例1:半导体制造过程中的氟检测——氟残留与材料鉴别

痛点: 

工艺腔室、晶圆载具、管道内壁残留的氟化物(如蚀刻副产物)是隐形杀手;新型耐等离子体材料氧氟化钇 (YOF) 正逐步取代氧化钇 (Y₂O₃),但如何快速确认使用的是YOF(含氟)还是Y₂O₃(不含氟)?

TRACER 5G 解决方案:

快速筛查残留: 无需拆卸,直接在设备部件、腔体表面或晶圆(非功能区)进行无损测量,数秒内定位氟污染热点,预警潜在风险,保障制程纯净度和设备寿命。

精准材料鉴别: 通过检测氟元素的存在与否,快速、明确区分YOF涂层与Y₂O₃涂层,确保关键防护部件使用了正确的先进材料。告别依赖复杂实验室分析或模糊的物理观察!

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·   案例2:含氟的持久性有机污染物的检测

痛点:

PFAS分布广泛(消防训练场、工业区、受污染水体周边、废弃物处理点),传统检测流程繁琐、昂贵且滞后,难以满足快速响应和初步筛查需求。PTFE制品在使用磨损后也可能释放相关含氟物质。

TRACER 5G 解决方案:

现场初筛利器:快速扫描土壤、灰尘、沉积物、甚至某些固体废弃物表面,指示可能存在PFAS污染的热点区域(氟作为PFAS的特征元素是其重要指示器)。虽然不能直接鉴定具体PFAS种类,但能大幅缩小需要送实验室精确定量分析的范围,节省大量时间和成本。

污染源追踪: 辅助判断可能的污染源(如泄漏点、历史使用区域)。

含氟材料识别: 快速识别场地中是否含有高浓度的含氟材料(如PTFE制品碎片、特定消防泡沫残留物)。

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产品价值 - TRACER 5G不仅仅是一台“手持设备”

科研级的检测能力: 它代表着当前手持式XRF分析仪技术的前沿水平,性能直逼实验室精密仪器。

宽泛的元素覆盖: 从超轻的钠(Na)到重元素的铀(U),一机覆盖元素周期表两端,满足科学家和工程师的多元化研究分析需求。

灵活性: 手持便携设计,让实验室级的精准分析随时随地发生在产线旁、设备旁、研发现场。

无损检测: 无需破坏样品! 珍贵晶圆、设备部件、现场样本完好无损。

操作简单: 非专家经简单培训即可上手,降低使用门槛。

成本效益: 大幅降低良率损失风险、设备维护成本、实验室送检开销及大规模环境筛查费用。

强大耐用: 专为工业现场和环境勘察设计。

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无论您是:

追求良率与制程控制的半导体大厂,

负责环境监测与修复的政府机构/环保公司,

还是需要管控供应链风险的材料/零部件供应商,

揭秘历史真相的艺术品与考古机构(颜料成分无损鉴定、文物材质分析),

保障舌尖安全的食品/农业监管者与生产者(土壤养分/污染元素筛查、食品接触材料有害重金属迁移检测、肥料成分验证),

勘探地球宝藏的地质矿业团队(矿样现场快速品位评估、矿脉追踪、环境本底调查)


布鲁克TRACER 5G手持式XRF分析仪,凭借革命性的石墨烯窗口技术,为您提供现场、快速、无损、精准的氟元素检测方案,助您牢牢掌控氟这把“双面刃”!


即刻解锁科研级手持分析新境界!


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