铂悦仪器(上海)有限公司

您当前的所在位置为:首页  >  新闻资讯  >  布鲁克Dektak XT探针式表面轮廓仪

布鲁克Dektak XT探针式表面轮廓仪

发布时间:2018-11-13浏览:74

       自1968年第yi台Dektak 面世以来,探针式表面轮廓仪迄今已有50年的发展历程。通过整合技术,突破创新,布鲁克第十代Dektak XT达到了过去五十年Dektak技术创新的顶峰,实现了zui高性能,巩固了其行业领先地位,能够在微电子,半导体,太阳能、超高亮度发光二极管(LED)、医学、材料科学等行业实现纳米级表面形貌测量。

· 无可匹敌的性能,台阶高度重现性低于 4 Å

       Dektak XT 是首部使用single-arch 设计的探针轮廓仪,特有single-arch 设计及智能电子器件,大大改善了设备稳定性,进一步提高防震性能。Dektak XT在测量台阶高度重复性方面具有优异的表现,台阶高度重复性可低于4Å。使用 single-arch 结构比原先的悬臂梁设计更加稳固,降低了对不利环境条件的敏感性,如声音和震动噪音。Single-arch 结构和智能器件的联用,大大降低了扫描台的噪音。凭借 single-arch 结构的辅助,Dektak XT大大提高了电子器件的稳定性,减小误差,使其在现有的探针轮廓仪竞争中脱颖而出。

· 专利的更换探针技术,让一切变得轻松

       对多用户仪器而言,能快速轻松更换探针以适应不同应用是必要的。Dektak XT 新的针尖自动校准,消除任何潜藏的针尖更换/校准隐患。这一创新让其他困难并耗时的任务变得轻松且快速。为尽量满足使用的要求,Bruker 提供了范围广泛的标准和客户定制探针规格,包括用于深沟渠测量的高径比针尖。

· LVDT:主流的微位移传感技术,广泛应用于航空航天等领域

       作为探针式表面轮廓仪zui核心的部件—传感器,Dektak XT采用LVDT传感器原理,即Linear Variable Differential Transformer线性可变差动变压器,其优势包括:无摩擦测量、无限的机械寿命、无限的分辨率、零位可重复性、轴向抑制、坚固耐用、环境适应性、输入/输出隔离。是目前zui成熟可靠精密的传感器技术。

· 提高数据采集和分析速度

       利用独特的直接驱动扫描平台,Dektak XT 节约了扫描时间,且没有影响分辨率和背景噪声。这一改进大大提高了大范围扫描3D 形貌或者对于表面应力长程扫描(就探针轮廓仪而言,通常是耗时的)的扫描速度。在保证行业领先的质量和重现性前提下,Dektak XT 可以将数据采集处理的速度提高 40%。另外,Dektak XT 采用 Bruker 64-Bit 数据采集分析同步操作软件Vision64,它可以提高大范围 3D 形貌图的高数据量处理速度,并且可以加快滤波器的工作速度和多模式扫描时的数据分析。Vision64 还具有行业内zui有效的直观用户界面,简化了实验操作设置,自动完成多扫描模式,让重复和常规的实验操作变得更快速简洁。

 

Dektak XT 严谨的测试结果—多重应用

薄膜测试——检测设计和性能

       Dektak 是唯yi能在大垂直范围(高达1mm),测量薄膜材料达到埃级重现性的探针轮廓仪。MEMS 和微流体技术行业的研究者能使用Dektak XT 来进行鉴定测试,确保零件符合规格。测试微纳米级别的台阶高度、凹槽深度、粗糙度波纹度等,zui薄可以测到1纳米厚度,测试范围1mm以内。

半导体检测——确保高产

       在半导体制造中严密监测沉积和蚀刻比率均匀性、薄膜应力,能节省大量时间和金钱。薄膜的不均匀或太大的应力会导致低产及成品性能欠佳。Dektak XT能方便快捷地设置和运行自动多点测试程序来检验晶片薄膜的精确厚度,达到纳米级别。Dektak XT无与伦比的重现性提供给工程师精确的薄膜厚度和应力测试,来精确调节蚀刻和沉积以提供收益。

太阳能栅线分析——降低制造成本

       在太阳能市场,Dektak是测量单晶硅和多晶硅太阳能面板上导电银栅线临界尺寸的首xuan。银线的高度、宽度和连续性与太阳能电池的能量引导紧密相关。生产的理想状态是恰如其分地使用银,以具有zui好的导电性,而不浪费昂贵的银。Dektak XT通过软件分析来实现,报告银栅线的临界尺寸,以确定出现导电性所需的精确分量。Vision64的数据分析方法和自动功能有助于该验证过程的自动化。

 

 

点击了解更多产品信息

马上联系我们的应用团队:info@boyuesh.com

 

 

上一篇:X射线荧光法在混凝土氯离子渗透试验中的应用
在线留言
联系我们

电话:86-021-37018108

传真:86-021-57656381

邮箱:info@boyuesh.com

地址:上海市松江区莘砖公路518号松江高科技园区28幢301室

扫码关注
Copyright © 2013 铂悦仪器(上海)有限公司  版权所有 备案号:沪ICP备10038023号-1